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  • [SILVACO ATLAS]a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)

    进展比较慢啊...

    根据江南大学硕士论文IGZO/IZO双有源层薄膜晶体管特性的模拟研究:

    其中,

    gCBa:类受主导带尾态

    gVBd:类施主价带尾态

    gGd:类施主氧空位态

    NDeep:价带尾深施主态

    gta:E=Ec时,类受主能态密度

    gtd:E=Ev时,类施主能态密度

    Ea:导带尾斜率

    Ed:价带尾斜率

    gd:氧空位能态密度峰值

    lamda:氧空位能态标准偏差

    tao:氧空位能态平均能量

    Ngd:E=Egd时,价带尾深施主态密度峰值

    Wgd:价带尾深施主态标准偏差

    Egd:价带尾深施主态平均能量

    我又去找了下atlas用户手册的公式,如下:

     

    对比就可以得到:

    这毕业论文,写,错,公,式,了。

    其实重点是我们可以得到具体的defect参数的意义。

    再写一遍,如下:

    gTA:类受主导带尾态

    gTD:类施主价带尾态

    gGA:类施主氧空位态

    gDD:价带尾深施主态

    NTA:E=Ec时,类受主能态密度

    NTD:E=Ev时,类施主能态密度

    WTA:导带尾斜率

    WTD:价带尾斜率

    NGA:氧空位能态密度峰值

    EGA:氧空位能态标准偏差

    WGA:氧空位能态平均能量

    NGD:E=Egd时,价带尾深施主态密度峰值

    WGD:价带尾深施主态标准偏差

    EGD:价带尾深施主态平均能量

    根据文献资料,提供的公式如下:

     

    可得到参数间对应关系:

    文章中提供的参数值如下:

    即:

    defect region=1 nta=5e18 wta=28 ega=0.13 nga=70 wga=45 egd=0.2 ngd=2.9e17 wgd=100

    AT,AGS以及AGD含义暂时未知。

    对比原定义:

    defect region=1 nta=1e17 wta=0.013 wtd=0.12 ngd=6.5e14 wga=2 ntd=4.5e21 ngd=0 wgd=0

    结果:

    未完待续...

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