(1)氧化层厚度x0:氧化层越厚,阈值电压越大 (2)衬底掺杂浓度:衬底掺杂浓度越浓,阈值电压越大 (3)衬底偏置:衬偏Vsb越大,阈值电压越大 (4)栅电极材料:它影响金属半导体功函数差 (5)温度:温度越搞,阈值电压越低,漏电越大