在UNIX系统中，僵尸进程是指完成执行（通过exit系统调用，或运行时发生致命错误或收到终止信号所致）但在操作系统的进程表中仍然有一个表项（进程控制块PCB），处于”终止状态“的进程。这发生于子进程需要保留表项以允许其父进程读取子进程的exit status：一旦退出态通过wait系统调用读取，僵尸进程条目就从进程表中删除，称之为”回收（reaped）”。正常情况下，进程直接被其父进程wait并由系统回收。进程长时间保持僵尸状态一般是错误的并导致资源泄漏。
英文术语zombie process源自en:zombie — 不死之人，隐喻子进程已死但仍然没有被收割。与正常进程不同，kill命令对僵尸进程无效。孤儿进程不同于僵尸进程，其父进程已经死掉，但孤儿进程仍能正常执行，但并不会变为僵尸进程，因为被init（进程ID号为1）收养并wait其退出。
子进程死后，系统会发送SIGCHLD 信号给父进程，父进程对其默认处理是忽略。如果想响应这个消息，父进程通常在SIGCHLD 信号事件处理程序中，使用wait系统调用来响应子进程的终止。
僵尸进程被收割后，其进程号(PID)与在进程表中的表项都可以被系统重用。但如果父进程没有调用wait，僵尸进程将保留进程表中的表项，导致了资源泄漏。某些情况下这反倒是期望的：父进程创建了另外一个子进程，并希望具有不同的进程号。如果父进程通过设置事件处理函数为SIG_IGN显式忽略SIGCHLD信号，而不是隐式默认忽略该信号，或者具有SA_NOCLDWAIT标志，所有子进程的退出状态信息将被抛弃并且直接被系统回收。
UNIX命令ps列出的进程的状态（”STAT”）栏标示为 “Z“则为僵尸进程。
收割僵尸进程的方法是通过kill命令手工向其父进程发送SIGCHLD信号。如果其父进程仍然拒绝收割僵尸进程，则终止父进程，使得init进程收养僵尸进程。init进程周期执行wait系统调用收割其收养的所有僵尸进程。
为避免产生僵尸进程，实际应用中一般采取的方式是：
- 将父进程中对SIGCHLD信号的处理函数设为SIG_IGN（忽略信号）；
- fork两次并杀死一级子进程，令二级子进程成为孤儿进程而被init所“收养”、清理。
例子：
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#include <sys/wait.h>
#include <stdlib.h>
#include <unistd.h>
int main(void)
{
pid_t pids[10];
int i;
for (i = 9; i >= 0; --i) {
pids[i] = fork();
if (pids[i] == 0) {
sleep(i+1);
_exit(0);
}
}
for (i = 9; i >= 0; --i)
waitpid(pids[i], NULL, 0);
return 0;
}
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