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FWT的板子题，思想不是很好理解，但代码还是非常好写的。

#include<bits/stdc++.h>
typedef long long ll;
const ll mod=1e9+7,inv2=mod/2+1,N=2e5+10;
void fwt(ll* a,int n,int f) {
    for(int d=1; d<n; d<<=1)
        for(int i=0; i<n; i+=d<<1)
            for(int j=0; j<d; ++j) {
                ll x=a[i+j],y=a[i+j+d];
                a[i+j]=(x+y)%mod,a[i+j+d]=(x-y)%mod;
                if(!~f)a[i+j]=a[i+j]*inv2%mod,a[i+j+d]=a[i+j+d]*inv2%mod;
            }
}
ll Pow(ll x,ll p) {ll ret=1; for(; p; x=x*x%mod,p>>=1)if(p&1)ret=ret*x%mod; return ret;}
int n,m,pri[N];
ll a[N];

int main() {
    for(int i=2; i<N; ++i)for(int j=2; i*j<N; ++j)pri[i*j]=1;
    while(~scanf("%d%d",&n,&m)) {
        int n2=1;
        for(; n2<=m; n2<<=1);
        for(int i=0; i<n2; ++i)a[i]=0;
        for(int i=2; i<=m; ++i)if(!pri[i])a[i]=1;
        fwt(a,n2,1);
        for(int i=0; i<n2; ++i)a[i]=Pow(a[i],n);
        fwt(a,n2,-1);
        printf("%lld
",(a[0]+mod)%mod);
    }
    return 0;
}