偏振分光棱镜是兆九光电的主打产品之一,其作用是将一束光的水平偏振和垂直偏振分开,其中P偏光完全通过,而S偏光以45度角被反射,出射方向与P光成90度角。P光与S光的透过率之比大于1000,同时保证P光透过率在90%以上。具有应力小、消光比高、成像质量好、光束偏转角小等特点。偏振分光棱镜由一对高精度直角棱镜胶合而成。下面介绍一下偏振分光棱镜在激光干涉仪中的应用。
由于激光具有极好的时间相干性,其相干距离可以达到数公里,所以自激光问世以来,以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注,其应用范围不断扩展,激光干涉仪技术也不断发展, 出现了各种形式的激光干涉仪。
尽管存在各种形式的激光干涉仪,但从原理上讲,可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。
通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machelson干涉仪系统,图1为单频激光干涉仪原理示意图,分光镜BS将激光分为2束,一束射向定镜R,另一束射向动镜M,当动镜M移动时,经R和M的反射光在O处汇合产生干涉,由于分光镜金属膜的附加相移性质,光电探测器D1、D2接受的信号相位差为90°,用于计数器的方向辨别。
图1 单频激光干涉仪
图2为外差激光干涉仪的原理示意图,偏振方向相互垂直的同轴双频激光被分光镜BS分为二部分,反射部分经检偏器P1由光电探测器D1接受,作为系统的参考信号;透射部分在偏振分光棱镜PBS处按偏振方向分解,一路指向定镜R,频率为f 1;另一路指向动镜M,频率为f 2。当动镜M移动时,返回光产生多普勒频移Δf ,f 2+Δf 与f 1两光束在偏振分光棱镜PBS汇合, 经45°放置的检偏器P2,由光电探测器D2接收。
图2 外差激光干涉仪
在Machelson干涉仪系统中光程的变化是动镜位移的2 倍。
表1 单频激光干涉仪和外差激光干涉仪
从表中可见外差激光干涉仪的测量信息Δf是叠加在一个固定的频差( f 2-f 1)上的,属交流系统,而单频激光干涉仪的测量信息Δf是叠加在一个直流分量( E21+E22)上的,属直流系统,这是两种类型激光干涉仪的本质区别。